Приложение Л1.
Описание работы с программой OPAL-PC

Л1.5. Анализ волнового фронта

Л1.5.1. Коэффициенты зонального разложения

При зональном полихроматическом разложении в каждой точке поля волновая аберрация аппроксимируется полиномами Цернике от канонических полярных координат на зрачке и ортогональными полиномами от канонической спектральной координаты.

Каждый зональный коэффициент имеет марку C xij, где х – степень разложения по хроматизму, i – степень разложения по радиальной координате, j – степень разложения по угловой координате.

Номер пучка (точки поля) задается в окне «Edit».

Текстовый режим

В текстовом виде производится вывод значений коэффициентов зонального разложения функции волновой аберрации.

Графический режим

В графическом режиме производится отображение гистограмм коэффициентов зонального разложения волновой аберрации («Вид отображения <Абсолютный>») или гистограммы вклада в волновой критерий аберраций различных порядков («Вид отображения <СКВ>»).

Справа в подокне для коэффициента, на который указывает стрелка, выводится гистограмма его разложения по хроматизму, переход в подокно и обратно производится клавишей «Tab». В информационном подокне выводится значение коэффициента и для справки значение полихроматического волнового критерия.

Л1.5.2. Коэффициенты глобального разложения

При глобальном полихроматическом разложении волновая аберрация представляется разложением по ортогональным полиномам от относительной координаты на предмете, полиномам Цернике от канонических полярных координат на зрачке и ортогональным полиномам от спектральной координаты.

Каждый глобальный коэффициент имеет марку C x kij, где х – степень разложения по хроматизму, k – степень разложения по координате на предмете, i – степень разложения по радиальной зрачковой координате, j – степень разложения по угловой зрачковой координате. 

Вывод полученных коэффициентов производится только в текстовом режиме.

Л1.5.3. СКВ  волновой аберрации по полю

В этом пункте выводится среднеквадратическое значение волновой аберрации, а также СКВ за вычетом вкладов некоторых аберраций.

Л1.5.4. Плоскость наилучшей установки

Вычисления параметров плоскости наилучшей установки производятся отдельно для каждого пучка, и в целом по всем пучкам. Для каждого пучка выводятся:

• положения номинальной плоскости и плоскостей наилучшей установки по волновому и геометрическому критерию (dS');
• значения волнового критерия (СКW);
• значения геометрических критериев (dX') и (dY');
• смещение энергетического центра пятна рассеяния в меридиональном направлении;
• положения границ глубины резкости.

В качестве волнового критерия используется W_СКВ, а в качестве геометрического критерия используется среднеквадратический размер поперечных аберраций (СКR) (квадратный корень из суммы квадратов среднеквадратической сагиттальной (dX') и меридиональной (dY') поперечных аберраций). Положение общей плоскости наилучшей установки определяется как среднее для всех пучков.

Номер пучка и максимально допустимые значения волнового и геометрического критериев задаются в окне «Edit». Положение общей плоскости наилучшей установки выводится, если выбраны все пучки («ALL»).

Л1.5.5. Отображение волнового фронта

Отображение волнового фронта данного пучка может производиться в виде карты уровней либо в трехмерном виде. Способ отображения и номер пучка устанавливаются в окне «Edit».

Справа в столбик выводится значение волновой аберрации для участка изображения соответствующего цвета. Подробная инструкция по работе с трехмерным отображением волновой аберрации выводится по клавише «F1».